微波消解是通過利用微波使溶液中的極性分子高頻轉動和發生離子遷移從而產生大量熱能，加大了碰撞概率。與此同時，固體物質的表層膨脹、擾動、破裂，新的表層繼續溶解，從而達到消解的效果。微波消解加熱快、升溫高，而且消解能力強，大大縮短了溶樣時間。由于微波對樣品溶液的直接加熱和罐內迅速形成的高溫高壓，可以在不到一小時內完成大多數樣品的消化，而且還能消解許多傳統方法難以消解的樣品。因為傳統的電加熱裝置耗能較高，能量利用率偏低，加熱時間過長，熱傳導也有所差異，溫度均勻性很難一致，甚至容器本身材質也有可能對樣品造成污染。而輻射能量，正好可以緩解甚至避免這些問題，所以新的方法應運而生。